【氟知识】八氟环丁烷市场前景广阔，国内产能不断扩张

所属分类：行业小百科阅读次数：747 发布时间：2023-12-08

电子特气种类繁多，含氟电子特气占比30%，据不完全统计，现有特种气体的种类达260余种，晶圆制造中硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等环节所需的电子特气种类就超过50种。电子特气对半导体器件的性能好坏起着决定性作用，与此同时，集成电路制造工艺的演变还产生了新的气体产品需求，如12寸蚀刻工艺将会更多使用高纯八氟环丁烷等特种气体，这就要求气体公司在提升其合成、纯化、分析检测、充装等技术的同时，还要紧跟下游要求可以不断研发出新品类的气体。

关于八氟环丁烷，化学式为C4F8，也称为全氟环丁烷，外观为无色气体状，无特殊气味。八氟环丁烷化学性质稳定，在常温常压下一般不与其他物质发生反应；不可燃烧，但在密闭容器中遇高热有爆炸危险；无毒，但与其他可燃物混合燃烧或者遇高热会分解，分解产物为有毒氟化氢。

八氟环丁烷下游可应用范围广泛。由于全球变暖潜能值（GWP）低、消耗臭氧潜能值（ODP）为零，作为一种绿色环保气体，八氟环丁烷可用作制冷剂、绝缘气体、溶剂、发泡剂、蚀刻剂、清洗剂等，应用在制冷、电力、化工、半导体等产业中。高纯八氟环丁烷是一种电子气体，在半导体产业，可以应用在大规模集成电路蚀刻、清洗方面。

在全球范围内，八氟环丁烷生产商主要有法国液化空气集团、德国林德集团、德国梅塞尔、日本昭和电工、日本旭硝子、日本关东电化学、日本大阳日酸等。受益于我国电子、化工等行业快速发展，市场对八氟环丁烷需求不断上升，但早期我国八氟环丁烷生产能力弱，产能较少且产品质量较差，无法满足国内市场需求特别是半导体市场需求，进口依赖度大。为满足半导体产业需求，进入八氟环丁烷行业布局的国内企业逐步增多。

据不完全统计，我国八氟环丁烷产能统计

八氟环丁烷下游用途广泛，随着环保要求提高，较多具有温室效应、对臭氧破坏严重的制冷剂、发泡剂、绝缘气体逐步退出市场，八氟环丁烷市场空间增大。高纯八氟环丁烷在半导体产业中可用作蚀刻剂、清洗剂，随着我国电子信息产业规模不断扩大，其需求持续增长。总的来看，我国八氟环丁烷行业发展前景广阔。

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