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惊险!台积电供应商极光先进激光公司发生氟气泄漏

所属分类:行业新闻 阅读次数:127 发布时间:2023-08-16

据科技新报报道,台积电供应商之一的极光先进激光股份有限公司,8月15日上午11时传出氟气钢瓶泄露事件。氟气是3级管制有毒气体,整个厂区立刻疏散,300多人撤离。

报道称,消防局收到消息后派人员处理,确认极光先进激光公司发生总量6540克的钢瓶氟气外泄事件,由于氟气有毒,消防局立即协助厂区疏散清空,并进行止阀冷却。

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消防局表示,进一步处理之后,气体泄露事件已经解决。在厂内泄露的气体侦测值已降为0,并且消防人员目前确认阀体、钢瓶没有其他泄漏状况,公司员工也没有人员受困或伤亡的情况。

至于钢瓶氟气泄露原因,需进一步调查。

公开资料显示,极光先进提供作为半导体曝光设备用的激光,为世界上生产曝光用Excimer激光制造大厂之一,产品覆盖亚洲市场如中国、日本、韩国等大部分的半导体制造厂,在欧美市场使用率较高。

关于氟气

氟气(F2)是淡黄色的气体,有特殊难闻的臭味,剧毒。是一种极具腐蚀性的淡黄色双原子气体,在常温下,它几乎能和所有的元素化合,并产生大量的热能。

应用领域:

1、制造氟化物:利用氟气和水的反应,氟气可以用于制备氢氟酸(HF:2H2O+2F2=4HF+O2),氢氟酸在铝和铀的提纯、蚀刻玻璃、半导体工业中除去硅表面的氧化物,多种含氟有机物的合成等方面都起着重要作用,氟气还可用于制备氟化钠,氟化钠可作为木材防腐剂、农业杀虫剂、酿造业杀菌剂、医药防腐剂、焊接助焊剂、碱性锌酸盐镀锌添加剂等。

2、制造含氟塑胶:利用氟气和塑胶的反应可以制备含氟塑胶,含氟塑胶具有耐高温、耐油、耐高真空及耐酸碱、耐多种化学药品的特点,已应用于现代航空、导弹、火箭、宇宙航行、舰艇、原子能等尖端技术及汽车、造船、化学、石油、电讯、仪器、机械等工业领域。

3、原子能工业:通过氟从铀矿中提取铀235,因为铀和氟的化合物很易挥发,用分馏法可以把它和其它杂质分开,得到十分纯净的铀235。铀235是制造原子弹的原料。在铀的所有化合物中,只有氟化物具有很好的挥发性能。

4、航空:由于氟气氧化性很强,液化的氟气可作为火箭燃料中的氧化剂。

5、其他方面:氟气还用于金属的焊接和切割,电镀,玻璃加工,药物,农药,杀鼠剂,冷冻剂,等离子蚀刻等。

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安全防护:工作场所要通风保持空气新鲜干燥,要用特种钢瓶贮装。钢瓶存放时必须与其它物料隔离,特别是与能和氟反应的物料隔绝,要远离易起火地点。着火时消防人员须在防爆掩蔽处操作,切不可将水直接喷射漏气处,否则会助长火势。灭火可用二氧化碳、干粉、砂土、废气可用水吸收。


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