南大光电：含氟新材料产业强势出圈！

所属分类：行业新闻阅读次数：231 发布时间：2024-03-25

在高青化工产业园内，南大光电（淄博）有限公司投资建设的六氟丁二烯及附属设施项目正在试生产。据了解，淄博南大光电六氟丁二烯项目是2023年3月份开工，在10月份完成整体项目的建设，11月份转入试生产阶段，目前是处于一个满产试生产调试阶段，预计今年三四月份能够正式完成生产手续的办理。装置的实际产能是30万吨，预计满产之后能够实现年利税在1000万元以上，项目产品六氟丁二烯应用于高端芯片先进制程技术、3D存储和逻辑芯片的加工蚀刻流程中，填补了国内电子信息产业技术空白。

根据南大光电公司规划，预计于2024年建设30吨/年中试装置，打通工艺流程，掌握核心技术；预计于2025年将中试装置升级改造，使产能提升至50吨/年；预计于2026年进一步扩建50吨/年装置，使得产品总产能达到100吨/年。

六氟丁二烯与传统干法蚀刻气体四氟化碳、八氟环丁烷、六氟乙烷、三氟甲烷等相比，在刻蚀速率、刻蚀均匀性、刻蚀选择比等方面具有显著的优势，同时其GWP几乎为零更具有环保优势，是唯一能够满足蚀刻要求且环境友好的蚀刻气体，也是国内唯一终端蚀刻气体产品。

现阶段六氟丁二烯产品核心技术主要掌握在俄罗斯、日本、韩国等海外少数企业手中，而由于俄乌地缘政治冲突影响，六氟丁二烯市场处于短缺状态，产品终端售价较高，因此六氟丁二烯产品的国产化进程亟需加速。此外，通过此项目，南大光电可进一步丰富氟类特气的产品品类，深化含氟电子特气领域投资布局。

文章来源：淄博新闻

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